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芬蘭KxS Technologies半導(dǎo)體晶圓化學(xué)監(jiān)測(cè)儀

赫爾納供應(yīng)芬蘭KxS Technologies半導(dǎo)體晶圓化學(xué)監(jiān)測(cè)儀，德國(guó)總部直接采購(gòu)，近30年進(jìn)口工業(yè)品經(jīng)驗(yàn),原裝產(chǎn)品,支持選型，為您提供一對(duì)一的解決方案：貨期穩(wěn)定，報(bào)價(jià)，價(jià)格優(yōu)，在中國(guó)設(shè)有8大辦事處提供相關(guān)售后服務(wù)。

芬蘭KxS Technologies是一家專(zhuān)注于工業(yè)過(guò)程測(cè)量技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)。該公司提供的半導(dǎo)體晶圓制造用化學(xué)監(jiān)測(cè)儀，主要用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中各類(lèi)化學(xué)藥液濃度的在線分析與控制。

一、產(chǎn)品類(lèi)型

該品牌主要產(chǎn)品類(lèi)型包括：

在線化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀

化學(xué)液混合配比控制系統(tǒng)

蝕刻工藝終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)

CMP slurry密度監(jiān)測(cè)儀

高純化學(xué)品輸送監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

濕法工藝槽液濃度控制設(shè)備

二、主要型號(hào)

目前該品牌主要型號(hào)有：

DCM-10

RIM-S200

CCM-3000

SDS-500

EMM-400

SCM-200

WCM-1000

三、產(chǎn)品介紹

以DCM-10型號(hào)為例，該設(shè)備為在線式折射率監(jiān)測(cè)儀，采用原位測(cè)量原理。通過(guò)測(cè)量液體的折射率變化來(lái)推算化學(xué)濃度，適用于多種半導(dǎo)體工藝藥液的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

主要技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量范圍：1.3200-1.5300 RIU

測(cè)量精度：±0.0001 RIU

溫度補(bǔ)償范圍：0-100℃

過(guò)程連接：1/4" FNPT

接液材質(zhì)：PTFE/哈氏合金

輸出信號(hào)：4-20mA/Modbus TCP

四、優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

多化學(xué)品適應(yīng)性：可測(cè)量HF、H2O2、NH4OH等多種半導(dǎo)體常用化學(xué)品

實(shí)時(shí)在線測(cè)量：直接安裝于工藝管道或槽體，實(shí)現(xiàn)不間斷監(jiān)測(cè)

耐腐蝕設(shè)計(jì)：采用氟材料密封和耐腐蝕合金接液部件

溫度自動(dòng)補(bǔ)償：內(nèi)置溫度傳感器，自動(dòng)校正溫度變化影響

數(shù)據(jù)通訊功能：支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)通訊協(xié)議，便于系統(tǒng)集成

五、主要應(yīng)用

CMP工藝中slurry濃度的在線監(jiān)測(cè)與控制

濕法刻蝕工藝中蝕刻液濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

晶圓清洗過(guò)程中SC-1、SC-2等清洗液的濃度配比驗(yàn)證

光刻膠去除工藝中化學(xué)藥液的活性維持

化學(xué)品配送系統(tǒng)的濃度校驗(yàn)與質(zhì)量控制

該類(lèi)設(shè)備為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的化學(xué)液濃度控制提供了測(cè)量手段，有助于保持工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

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